论文部分内容阅读
介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。
电容式加速度微传感器
【摘 要】
：
介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。
【机 构】
：
莆田学院,厦门大学
【出 处】
：
莆田学院学报
【发表日期】
：
2004年03期
其他文献
维生素是维持人体生命和健康不可少的物质。它不能在人体内合成，或合成的量很少，不足以满足人体的需要，所以必须由食物或药药提供。与脂质代谢，尤其是动脉粥样硬化和脂肪肝相关的维生素有维生素B、维生素C、维生素E和β-胡萝卜素。B族维生素有防止肝脂肪变性及保护肝脏的作用，维生素C可增加肝细胞抵抗力，促进肝细胞的再生，改善肝脏代谢功能，防止肝脏脂肪变和硬化，增加肝脏解毒能力；B族维生素和维生素E等参与肝脏脂
概述了PTP和DEA法的基本理论,并将其应用于我国的远洋鱿钓渔业。结果表明:1999年我国北太平洋鱿钓渔业的“捕捞能力”尚未得到充分的发挥,仍有潜力可挖;影响西南大西洋鱿钓渔
音乐教育在儿童的早期教育中有着举足轻重的作用,为开发少儿智力,培养少儿学习和生活兴趣的最佳途径。本文根据幼儿园音乐教育生活化的相关背景,初步探讨了幼儿园音乐教育生
青年群体是否认可我国社会主义主流意识形态,不仅影响着我国的政治制度的安全和社会发展的稳定还关系着我国未来的发展方向。改革开放以来,各种各样的社会思想观念在我国的日
上市公司的职责就是利用资本把公司经营好，实现股东利益最大化。但是在A股，有些上市公司不是以此为职责，而是想方设法将股权收益最大化，将圈钱当做最终目标。对于喜欢投机取巧的
报纸
本文简述了世界头足类的资源开发与利用现状，还分析了世界八个主要海区的头足类产量及主要种类。西北太平洋的头足类产量一直保持领先，９０年代仍保持增的势头。１９９５年占世界头足类产量
从畜产品加工工艺学的平时成绩管理现状入手,分析现有平时成绩给定方法的局限性,详细阐述考勤+测验+讨论+论文的平时成绩评定体系建立方法,指出已经取得的成效及平时成绩测评
A Study of Agricultural Technology Extension and Synchronous Development of Agricultural Modernizati
Through the study of relationship between agricultural technology extension and the development of agricultural modernization,urbanization and industrialization
小辣椒辣味浓、品质优、耐储藏，深受人们喜爱，市场行情看好，栽培面积逐年扩大。现将小辣椒露地无公害栽培技术介绍如下。1品种选用选用日本朝天椒品种。该品种抗病性强，耐热，果实