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氢引起微波芯片性能退化，降低沟道载流子的浓度，改变金属栅与半导体接触的肖特基势垒，密封腔内氢反应生成水，氢致裂纹，金属被氢化：通过优化芯片设计、优化工艺材料和增加除氢工序，可有效降低微波模块内部的氢含量。
微波模块氢效应研究综述
【摘 要】
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氢引起微波芯片性能退化，降低沟道载流子的浓度，改变金属栅与半导体接触的肖特基势垒，密封腔内氢反应生成水，氢致裂纹，金属被氢化：通过优化芯片设计、优化工艺材料和增加除氢工序，可
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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信息技术与标准化
【发表日期】
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2018年8期
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