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期刊论文
可提高光刻分辨率的新技术
可提高光刻分辨率的新技术
来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dd2010875
【摘 要】
:
详细研究了离轴掩模的原理,将离轴照明(OAI)与相移掩模(PSM)技术结构起来,在掩模上同时实现两种功能。较大程度地提高了光刻分辨力。实验表明,在数值孔径0.42,i线曝光波长下,可将光刻
【作 者】
:
罗先刚
姚汉民
等
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家实验室
【出 处】
:
光子学报
【发表日期】
:
2000年9期
【关键词】
:
离轴照明
相移掩模
光刻分辨力
大规模集成电路
Off axis illumination
Phase shift mask
Lithography resol
【基金项目】
:
国家自然科学基金!(编号为 698760 4 1 ),,微细加工光学技术国家实验室基金资助项目
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详细研究了离轴掩模的原理,将离轴照明(OAI)与相移掩模(PSM)技术结构起来,在掩模上同时实现两种功能。较大程度地提高了光刻分辨力。实验表明,在数值孔径0.42,i线曝光波长下,可将光刻分辨力从0.8um提高到0.5um.
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