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为提高功能陶瓷游离磨料研磨效率，减少大颗粒杂质侵入造成的表面损伤，提出了一种高效研磨用的新型半固着磨具（SFAT）．分析了SFAT的基本工作机理及其制作过程．通过对典型的功能陶瓷工件硅片的研磨实验，分析了SFAT研磨过程中工件表面质量、加工效率、材料去除形式，以及工艺参数对加工过程的影响．实验结果表明，采用#1000SiC磨料制作的SFAT研磨后，的硅片表面粗糙度在10min内，从215nm提高到了30nm．定义了单位材料去除量内表面粗糙度下降值，作为评价工件精加工表面质量改善效率的指标．实验中，利用SF