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介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ ｋＰａ、满量程输出为２５ ｍＶ、非线性小于０ ．２ ％ 、综合精度小于０ ．５ ％ 。
厚膜集成微压传感器的研制
【摘 要】
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介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ ｋＰａ、满量程输出为２５ ｍＶ、非线性小于０ ．２ ％ 、综合精度小于０ ．５ ％ 。
【机 构】
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合肥工业大学!安徽合肥230031,中科院合肥智能机械研究所!安徽合肥230009
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2000年1期
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