【摘 要】
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最近,我们用现成的几个光学零件,并设计制成了一个简单的平晶吊架,将中国计量科学研究院标准计量仪器厂生产的钠光等厚干涉仪改装成激光平面干涉仪。经实用证明:它实现了非
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最近,我们用现成的几个光学零件,并设计制成了一个简单的平晶吊架,将中国计量科学研究院标准计量仪器厂生产的钠光等厚干涉仪改装成激光平面干涉仪。经实用证明:它实现了非接触检验平晶,避免了划伤;获得了对比度良好的干涉条纹;特别是,利用此仪器可以迅速调出沿检测平晶任意直径方向上的干涉条纹,这对快速检出平晶各方向的不平度提供了可能性;并且改装所耗的工作量不大。
Recently, we used a few ready-made optical components and designed a simple flat-panel hanger to convert a sodium-light isopach interferometer produced by the China Metrology Institute into a laser-plane interferometer. Practical proof: it realizes the non-contact inspection of flat crystal, to avoid scratches; get good contrast fringes; in particular, the use of this instrument can be quickly deployed along the detection of any diameter of the flat crystal interference fringes, which pairs Quickly detect the flatness of the flat crystal in all directions provides the possibility; and the workload of modification is not.
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