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采用气体雾化工艺和高能球磨处理技术制备了纳米晶FeSi扁平状颗粒材料。研究了高能球磨处理和热处理工艺对材料微结构、形貌和微波电磁特性的影响。结果表明：高能球磨处理使雾化粉粒形状扁平化并使其晶粒细化，从而使Fesi微粉的微波磁导率显著提高，介电常数被有效控制；热处理后可以进一步改善其微波电磁性能。对该材料制作的涂层吸波性能的测量表明，在4GHz附近微波段具有良好吸波性能。