一种基于深冷混合工质节流制冷机的高真空水汽捕集器

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详细介绍了一种新型的高真空深冷水汽捕集器。该深冷水汽捕集器采用单压缩机驱动的混合工质节流制冷机冷却,制冷系统采用商用单级油润滑压缩机驱动,在配套600L涡轮分子泵时,压缩机的额定输入功率450W,捕集器表面温度最低为110K。在相同真空测试条件下,开启低温捕集器可使系统极限真空度和抽速均提高一个数量级。该新型深冷捕集器具有优异的性能、低廉的造价及高可靠性等特点,与其他高真空获得设备如涡轮分子泵结合可成为一种优异的洁净高真空获得系统。
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