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用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
来源 :广东工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong481
【摘 要】
:
介绍用β射在线自动测试薄膜度的计算机测量系统的基本构成,系统功能,测试原理及软件。
【作 者】
:
许立梓
林文豪
【机 构】
:
广东工业大学电气工程及自动化系,汕头市凯达泓集团包装材料公司
【出 处】
:
广东工业大学学报
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
计算机测量系统
Β射线
薄膜
厚度测试
在线测试
computer measuring system
β ray measure
measuring the t
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介绍用β射在线自动测试薄膜度的计算机测量系统的基本构成,系统功能,测试原理及软件。
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