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梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响
梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响
来源 :河南科技大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gongxintao
【摘 要】
:
考虑膜中应变随位置的变化,应用Pertsev热力学理论,研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度,介电
【作 者】
:
陈庆东
胡晓亮
李立本
【机 构】
:
河南科技大学理学院
【出 处】
:
河南科技大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
BaTiO3薄膜
梯度应变
热力学理论
介电常数
BaTiO3 thin film
Strain gradient
Thermodynamic theory
D
【基金项目】
:
国家自然科学基金项目(10574066),河南省教育厅自然科学研究项目(2007140004)
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考虑膜中应变随位置的变化,应用Pertsev热力学理论,研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度,介电常数随沉积温度的降低而增大,计算结果与实验数据较好地吻合。
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