KLA-Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品应对10纳米良率挑战

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【摘要】

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KLA-Tencor公司日前在SEMICON West2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列（以前称为第5代）和2930系列宽波段等离子光学检测仪、Puma~（TM）9980激光

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2016年8期

【关键词】

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检查系统检测仪 KLA-Tencor公司晶圆集成电路制造 SEMICON 纳米产品

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KLA-Tencor公司日前在SEMICON West2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列（以前称为第5代）和2930系列宽波段等离子光学检测仪、Puma~（TM）9980激光扫描检测仪、CIRCL~（TM）5全表面检测套件、Surfscan~SP5XP无图案晶圆缺陷检测仪和eDR7280~（TM）电子束检查和分类工具。这些系统采用一系列创新技术形成一套全面的晶圆检测解决方案，使集成电路制造的所有阶段“从早期工艺研发到生产工艺监控”，都能实现良率关键缺陷的发现与控

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