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功率MOSFET抗辐照性能初探
功率MOSFET抗辐照性能初探
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:glx19891006
【摘 要】
:
本文报导了近年来发展较为突出的功率场效应器件VDMOSFET的辐射效应以及国内外VDMOSFET的抗辐照特性,最后给出了该器件的基本设计原则和加同工艺技术。
【作 者】
:
刘英坤
赵丽华
【机 构】
:
河北半导体研究所,河北半导体研究所 石家庄,石家庄
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1989年12期
【关键词】
:
MOSFET
沟道长度
栅介质
抗辐照性能
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本文报导了近年来发展较为突出的功率场效应器件VDMOSFET的辐射效应以及国内外VDMOSFET的抗辐照特性,最后给出了该器件的基本设计原则和加同工艺技术。
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