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主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2＋Ar、N2、CH4、CO、CO2、Si H4、As H3。并验证方法的可行性。
气相色谱负压进样分析磷烷中的杂质
【摘 要】
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主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2＋Ar、N2、CH4、CO、CO2、Si H4、As H3。并验
【机 构】
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爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2016年2期
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