脉冲N离子束轰击对TiAlN膜层耐磨性的影响

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本文采用俄罗斯UVN0.5D21脉冲离子束辅助电弧离子镀沉积设备,在高速钢W18Cr4V基材_b_~TiAIN膜层。研究了膜层沉积过程中,脉冲N离子束轰击对TiAIN膜层耐磨性的影响。研究结果表明:N离子束轰击能量为0keV时,磨损初期TiAIN膜层的摩擦系数为0.3;磨损时间为70111in时,膜层的摩擦系数突然增加,膜层全部脱落,部分基材已经被磨损,摩擦系数为0.6。轰击能量为7.5keV时,磨损初期TiAlN膜层的摩擦系数为0.13;磨损时间为150min时,膜层表面没有出现脱落现象,有部分很浅的磨
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