小型国际等离子体技术设备展览会简讯

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1986年6月3日至6月7在北京香山饭店召开国际等离子体科学与技术会议(ICPST),会议期间举办了一个小型国际等离子技术设备展览会,展品或产品介绍有:英国等离子体科技有限公司(Plasma Technology(UK)Ltd)射频辉光放电设备,可用于半导体刻蚀, From June 3rd to June 7th, 1986, the International Plasma Science and Technology Conference (ICPST) was held at Xiangshan Hotel in Beijing. During the conference, a small international plasma technology equipment exhibition was held. The exhibits or product introductions include: British Plasma Technology Limited. Company (Plasma Technology (UK) Ltd) RF Glow Discharge Device for Semiconductor Etching,
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