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近年，作为固体表面一项新的低温成膜工艺，光化学气相沉积已经取得了显著进展。本文从光化学原理角度出发，介绍了光化学气相沉积反应的能量过程及生长机理，并展望了它的今后发展前景。
光化学气相沉积薄膜的生长机理及其研究进展
【摘 要】
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近年，作为固体表面一项新的低温成膜工艺，光化学气相沉积已经取得了显著进展。本文从光化学原理角度出发，介绍了光化学气相沉积反应的能量过程及生长机理，并展望了它的今后发展前
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年4期
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