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金属镍微型静电马达的观察
金属镍微型静电马达的观察
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwb518
【摘 要】
:
金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的
【作 者】
:
唐圣明
陈思琴
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1996年6期
【关键词】
:
金属镍
微型
静电电机
微电子机械学
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金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中,从而批量制造各种微型的机械零件,直至微型机械人。本文所介绍的金属...
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