静电电机相关论文
不可思议的微型技术将使人类征服自然的努力进入另一个全新的领域。
The incredible micro-technology will put human efforts t......
本文介绍了微米/纳米科学与技术的含义、意义、国内外发展概况、微米/纳米机械的特征以及它的应用领域,这对开展该领域的研究具有......
本文给出了一种利用局域硅氧化工艺生产静电微米规模电机的新型工艺.这种电机的草图如(1)图所示,它基于五道掩膜工艺,简述如下,具......
可变电容式直线静电电机在基于正弦波的驱动法下低速性能差,放大变换器体积庞大且设计复杂。针对这一问题,文中提出了一种基于方波......
金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电......
回顾了部分非电磁原理微电机的发展,并对其以及应用前景进行了展望,指出该领域的研究将成为本世纪最富有挑战性的科学技术之一,随时都......
本文论述了超微电动机的发展概况、制造技术以及超微静电电机的工作原理和结构特点。文中还对超微电动机的应用前景进行了展望,以期......