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文章介绍了一种精确的小角度测量方法的原理及其应用装置.通过实验对比,验证了该方法的准确性(精度可达2%).将该方法及装置应用于硅材料纵向杂质分布的扩展电阻测试[1-3],可大大提高浅结结深测量的准确度.
一种精确的小角度测量方法
【摘 要】
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文章介绍了一种精确的小角度测量方法的原理及其应用装置.通过实验对比,验证了该方法的准确性(精度可达2%).将该方法及装置应用于硅材料纵向杂质分布的扩展电阻测试[1-3],可
【机 构】
：
中国电子科技集团公司
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
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2004年3期
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