铁电薄膜底电极对薄膜结构与电性能的影响

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研究了电极材料(Pt/Ti)对铁电PLZT(7.5/65/35)陶瓷薄膜结构和性能的影响.认为在Pt层厚度一定时,Ti层的厚度对铁电薄膜的结构和性能有显著影响.当Ti层过厚或过薄时,铁电薄膜的结构较差;而当Ti层的厚度适中时,则铁电薄膜的显向下微结构均匀,电性能较好,典型的剩余极化强度和矫顽场分别为27.8μC·cm ̄(-2)和65.1kV·cm ̄(-1). The effect of electrode material (Pt / Ti) on the structure and properties of ferroelectric PLZT (7.5 / 65/35) ceramic thin films was investigated. It is considered that the thickness of the Ti layer has a significant effect on the structure and performance of the ferroelectric thin film when the thickness of the Pt layer is constant. When the Ti layer is too thick or too thin, the structure of the ferroelectric thin film is poor. When the thickness of the Ti layer is moderate, the downward microstructure of the ferroelectric thin film is uniform and the electrical properties are good. The typical remanent polarization And coercive field were 27.8μC · cm ~ (-2) and 65.1kV · cm ~ (-1), respectively.
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