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单面多层结构硅微压传感器的研制
单面多层结构硅微压传感器的研制
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangtie123
【摘 要】
:
提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理
【作 者】
:
任建军
杨恒
【机 构】
:
复旦大学电子工程系传感器研究室,传感技术国家重点实验室
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
传感器
微压传感器
压阻
硅
腐蚀
结构
low pressure sensor piezoresistance silicon etching
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提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。
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