【摘 要】
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本文概述了美、日、韩三国的半导体产业的发展情况。重点阐述半导体工艺设备的最新发展动向及与此相对应的VLSI器件技术。1995年,半导体工艺设备发展的特点是;大口径化,设备标准化,生产成
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本文概述了美、日、韩三国的半导体产业的发展情况。重点阐述半导体工艺设备的最新发展动向及与此相对应的VLSI器件技术。1995年,半导体工艺设备发展的特点是;大口径化,设备标准化,生产成本的降低等。
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