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本文概述了美、日、韩三国的半导体产业的发展情况。重点阐述半导体工艺设备的最新发展动向及与此相对应的ＶＬＳＩ器件技术。１９９５年，半导体工艺设备发展的特点是；大口径化，设备标准化，生产成本的降低等。
半导体工艺设备的最新动向
【摘 要】
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本文概述了美、日、韩三国的半导体产业的发展情况。重点阐述半导体工艺设备的最新发展动向及与此相对应的ＶＬＳＩ器件技术。１９９５年，半导体工艺设备发展的特点是；大口径化，设备标准化，生产成
【机 构】
：
电子工业部第４５研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年4期
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