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利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀Ta2O5的反应．由四极质谱测得的烧蚀产物除了O,Ta，Tao和TaO2中性碎片外，在较高激光能量密度时还有O+，Ta+，TaO+，TaO离子碎片。它们的飞行时间（TOF）谱可以用多组分带质心速度的Maxwell-Bolztmaun分布函数较好地拟合，原生离子碎片的平均动能与激光能量密度无关．烧蚀产物中原生离子和中性粒子的角分布可以分别用αcosnθ（n≈26）和αcosθ＋bcosnθ（n≈27）函数拟合。此外，对紫外脉冲激光烧触Ta2O5的机理进行了讨论．