FABRICATION OF PIEZOELECTRIC BIMORPH USING LEAD ZIRCONATE TITANATE THIN FILM DEPOSITED BY HYDROTHERM

来源 :中国机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ycboy

【摘要】

：

<正>In order to describe the characteristics of piezoelectric bimorph,properties of lead zirconate titanate (LZT) film are studied by X-ray diffraction (XRD) an

【作者】

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DU Liqun Lü Yan DONG Weij

【机构】

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KeyLaboratoryforPrecision＆NontraditionalMachiningTechnologyofMinistryofEducation,SchoolofElectronica

【出处】

：

中国机械工程学报

【发表日期】

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2007年6期

【关键词】

：

双压电晶片元件压电零件锆酸盐热液方法 Piezoelectric bimorph Lead zirconate titanate （LZT） film H

【基金项目】

：

This project is supported by National Natural Science Foundation of China （No. 50675025）, Scientific Research Foundation of Ministry of Education, Dalian City for the Returned 0verseas Chinese Scholar

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<正>In order to describe the characteristics of piezoelectric bimorph,properties of lead zirconate titanate (LZT) film are studied by X-ray diffraction (XRD) and scanning eletron microscope (SEM).The ratio of PbTiO_3/PbZrO_3 in LZT is 53/47,which is

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