【摘 要】
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采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0 ～20.7％(原子比))的WAlCN复合膜.利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其力
【机 构】
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天津大学材料科学与工程学院 天津300072天津市先进连接技术重点实验室 天津300072;
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采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0 ～20.7％(原子比))的WAlCN复合膜.利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其力学和摩擦磨损性能.结果表明:复合膜是由石墨相和面心立方的WAlN相构成,呈(200)择优生长.当WAlCN复合膜含C量增加时,它的硬度值会先升高后降低,当复合膜含C量达到11.2％时硬度出现最大值,约为37.7 GPa.加入C元素减少了WAlCN膜的摩擦系数,而其磨损率则先减小后增大.当WAlCN复合膜含C量达到20.7％时,摩擦系数值最小为0.25,此时磨损率为1.44×10-8 mm3/N·mm.总之,加入C元素后显著提高了WAlCN膜的综合性能.
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