WAlCN复合膜相关硕士博士期刊学术论文

WAlCN复合膜相关论文

采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0 ～20.7％(原子比))的WAlCN复合膜.利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描......

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