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辉光放电净化一直用于对大型粒子加速器或核聚变研究设备上的真空室进行除气。为了对真空灭弧室的所有内部零件的表面进行净化。尝试了在ＶＩ的内电极与环在其周围的铜栅网之间产生辉不卵电的新技术。用这种技术进行净化是有效的。在Ａｒ气中进行辉光放电净铧比Ｈ２中进行的辉光放电净化可以获得更高的内电极间击穿电压。净佛效果的这种差别可能是由于不同种类的离子与表面吸附的分子，微突起之间能量变换程度的不同所引起的。