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为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响，基于几何光学，采用数值仿真的方法，研究了基片表面的倾斜度对光学势阱的影响。结果表明，当基片表面相对于激光驻波中轴线正倾斜时，基片表面会形成一个无光场区，使光学势阱为0，且在z方向上光学势阱会发生一个零值突变；当基片表面相对于驻波中轴线负倾斜时，基片表面永远存在光场，在z方向上光学势阱不会发生零值突变，且光学势阱相对于z＝0会出现对称现象。该研究结果对激光汇聚原子沉积实验具有指导意义。