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微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。
微电子机械系统技术应用研究
【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。
【机 构】
：
常熟高等专科学校机电系
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2003年07期
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