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在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积SiC—C涂层,为有效提高SiC-C涂层与不锈钢基体元素的混合效应,采用涂覆后对样品进行加热处理以及在不锈钢基体上预沉积Cu薄膜的方法,试图改善SiC—C涂层与基体的混合效果。通过二次离子质谱(SIMS)测试分析涂层与基体的界面组份分布。结果表明,加热处理可以提高SiC-C涂层组元向基体的内扩散,但效果不甚显著。添加Cu层以及随后的加热处理可极大提高与不锈钢基体的混合程度。