亚微纳科技公司领先推出VERSALISFXP

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亚微纳技术公司是一家服务于全球半导体业及相关市场的供应商,主要提供先进半导体生产设备及工艺技术,日期宣布推出VersalisfxP系统。它是一个200/300mm集群系统,专为利用穿硅通孔技术制造三维集成电路而设计。亚微纳公司在开发此类研发用工艺整合解决方案方面处于领先地位,该技术可包含数个不同工序,包括蚀刻、PVD及CVD,
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