超声振动超精加工的研究

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近年来,对机器零件形状精度和表面粗糙度的要求愈来愈高。通常应用的精密加工方法之一,是以几十Hz频率振动油石进行超精加工。生产实践表明,传统的超精加工方法仅对被加工表面的微观几何形状精度,即表面粗糙度有较大改善;只是在一定条件下,能稍稍减小波纹度的高频部分(密波)。但是,对不湿度和波纹度低频部分(疏波)的改善,却并不有效。因此,宏观几何形状精度主要由前一道磨削工序来保证,在生产中,对磨削工
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