同面多电极电容传感器优化设计

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文章通过电磁场有限元分析软件ANSYS,构建了同面8电极电容传感器三维模型,基于传感器电极灵敏度及被测电容变化范围优化指标,对电容传感器结构进行了优化设计;比较分析了无保护电极,带接地保护电极、驱动保护电极三种结构下电容传感器检测极板间的电位分布;仿真研究结果为同面8电极电容传感器的优化设计提供了依据。
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