角度测量中等厚干涉图案的识别

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本文分析了干涉条纹的几何参数与各个角度的关系,导出数学公式,从而可根据干涉图案进行高精度测量;本文还列举实例进行验证。 This paper analyzes the relationship between the geometric parameters of the interference fringe and each angle, and derives the mathematical formula so that the interferometric pattern can be measured with high precision. The examples are also verified by examples.
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