【摘 要】
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多线切割机是半导体材料切割行业的主导设备,而多线切割机主轴系统的动力学特性对半导体晶片的加工质量具有较大影响.其中主轴系统中的三角架作为支承主轴的载体,其动力学性
【机 构】
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华东理工大学机械与动力工程学院,上海200237
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多线切割机是半导体材料切割行业的主导设备,而多线切割机主轴系统的动力学特性对半导体晶片的加工质量具有较大影响.其中主轴系统中的三角架作为支承主轴的载体,其动力学性能的优劣直接影响主轴系统整体性能的好坏.使用SolidWorks软件建立了三角架模型,并通过ANSYS软件进行静力和模态分析,找出了三角架刚度的不足.通过对三角架连接梁的多目标优化设计和对三角架前支承板的轻量化设计,最终在降低三角架质量的同时,提高了其动静态性能.
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