【摘 要】
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半导体专用设备制造业属于导体和集成电路的支撑产业，是半导体产业链中重要的一环，它融合了约几十个学科的高新技术，是基础研究和应用研究共同发展的产物和科学技术水平的集中表
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半导体专用设备制造业属于导体和集成电路的支撑产业，是半导体产业链中重要的一环，它融合了约几十个学科的高新技术，是基础研究和应用研究共同发展的产物和科学技术水平的集中表现。在我国高速发展的半导体产业业，半导体生产线的投资方兴来艾，但是，近些年了半导体生产线价格越来越贵，一条月产2万片的6英寸、8英寸、12英寸芯片生产线，投资分别高达2亿、10亿和20亿美元。巨额投资已成为制约我国微电子产业发展加速的因素。因而发展我国自己的半导体专用设备制造行业，是我国半导体行业未来发展的必由之路，建设强大的半导体专用设备制
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