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随着控制系统的不断发展,多晶硅行业的控制程度也不断提高,从而影响生产成本.首先概述多晶硅半导体的特性,然后描述多晶硅还原炉电气控制系统的控制原理.
多晶硅还原炉控制系统分析和研究
【摘 要】
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随着控制系统的不断发展,多晶硅行业的控制程度也不断提高,从而影响生产成本.首先概述多晶硅半导体的特性,然后描述多晶硅还原炉电气控制系统的控制原理.
【机 构】
：
峨嵋半导体材料厂《所》
【出 处】
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硅谷
【发表日期】
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2004年期
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