Electrochemical C--V Characteristics and Photoluminescence of a—C ： N Films

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyuan

【摘要】

：

Amorphous carbon (a-C) films and amorphous carbon films incorporating with the nitrogen (a-C∶N) were deposited on silicon substrates in a radio-frequency drive

【作者】

：

CHENGXiang CHENChao CAIJia-fa

【机构】

：

Dept.ofPhys.,InstituteofNanoMater.andTechnoi.

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

掺杂化学蒸气沉积法半导体材料无定形碳 DopingChemical vapour depositionSemiconductor materials

【基金项目】

：

Cooperation Projects of Xiamen University and Shenzhen Enterprise

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