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期刊论文
等离子体湮没离子注入
等离子体湮没离子注入
来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:coolwater_3
【摘 要】
:
本文扼要地介绍了等离子体湮没离子注入的基本原理,特点,应用效果及发展趋向。
【作 者】
:
夏立芳
孙跃
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
金属热处理
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
等离子体
离子注入
湮没
等离子喷涂
Plasma
Ion Beam Implantation
Plasma Immersion Ion Implantat
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本文扼要地介绍了等离子体湮没离子注入的基本原理,特点,应用效果及发展趋向。
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