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电火花线切割加工半导体材料时,正常放电状态和短路状态的电压波形相近而无法区分。根据一定周期内的电流脉冲个数除以电压脉冲个数（即电流脉冲概率）与进给速度的关系,当电流脉冲概率达到一定阈值时,要求进给系统能够回退。但一般插补算法都是单向的,无法做到严格按原轨迹回退,故要求有反向插补算法。由单步追踪法推导出反向插补算法,并通过插补实例证明其正确性。