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欧姆接触的好坏，对高功率半导体激光器至关重要降低接触电阻，有利于降低阈值，提高效率和延长寿命。为此，我们做了大量的实验，找到了降低欧姆接触电阻的最佳工艺条件，获得了小于０．０６区域的最低电阻。
808nm半导体激光器接触电阻的最佳工艺
【摘 要】
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欧姆接触的好坏，对高功率半导体激光器至关重要降低接触电阻，有利于降低阈值，提高效率和延长寿命。为此，我们做了大量的实验，找到了降低欧姆接触电阻的最佳工艺条件，获得了小于０．０６区域
【机 构】
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长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室
【出 处】
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长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
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1997年4期
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