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本文分析了FCG-1型仿形仪的静态精度,指出对静态精度有较大影响的因素是传感器的X,Y,Z三个轴的垂直度误差;阿贝误差;模指变形;温度。
FCG—1型仿型仪精度分析
【摘 要】
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本文分析了FCG-1型仿形仪的静态精度,指出对静态精度有较大影响的因素是传感器的X,Y,Z三个轴的垂直度误差;阿贝误差;模指变形;温度。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所成都
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1990年6期
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