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采用真空蒸发镀膜的方法分别在玻璃和硅片衬底上沉积金属锌前驱体，再在空气中通过不同温度的退火氧化处理制得氧化锌薄膜，主要研究了不同退火温度对氧化锌薄膜光电特性的影响．实验表明．在一定退火温度样品的方块电阻突增,PL发射峰出现红移，文中对结果进行了初步讨论．
氧化锌薄膜的蒸发氧化制备及其光电特性研究
【摘 要】
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采用真空蒸发镀膜的方法分别在玻璃和硅片衬底上沉积金属锌前驱体，再在空气中通过不同温度的退火氧化处理制得氧化锌薄膜，主要研究了不同退火温度对氧化锌薄膜光电特性的影响．实
【机 构】
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湛江师范学院物理科学与技术学院
【出 处】
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湛江师范学院学报
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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广东省高等学校建设专项基金资助项目([2006]112);教育部留学回国人员科研启动基金项目([2004]176号)
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