大口径衍射望远系统公差分析及测量

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由于薄膜衍射元件表面质量密度低、面形公差宽松,可将其作为空间大口径衍射望远系统的主镜,构成具有超大口径、轻质量、高集光率的光学载荷,提高对地球不受干扰、实时观测能力.本文分析了衍射元件的加工公差、衍射望远系统两部分空间相对位置的系统公差,提出了衍射望远系统两部分空间相对位置测量方法,并分析了测量准确度.该方法利用两种不同结构的计算全息元件,将激光光源在CMOS有源探测器上形成两个聚光光斑,实时分析两光斑的相对位置,可以精确测量偏心量和倾斜量,测量准确度分别可达50μm和0.003°,为未来大口径衍射望远系统在空间的实施奠定了基础.
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