【摘 要】
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为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求，本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统。该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控
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为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求，本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统。该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成。应用该系统对200 mm300 mm20 mm的光学元件在一般应用环境下进行了拼接测量实验，采用误差均化拼接算法进行拼接，并对拼接后的结果进行分析处理，比较拼接测量与全口径测量结果，PV值的相对误差为3.1%，RMS值的相对误差为1.6%，Power值的相对误差为2.1%。该系统为在车间环境下建立大口径光学元件在位检测
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