【摘 要】
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基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统.基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响.为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试.结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力.
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京 100029;中国科学院大学,北京,100049;中国科学院微电子研究所,北京 100029;中国科学院微电子研究所,北京 100029;中国科学院大学,北京,10004
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基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统.基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响.为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试.结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力.
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