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期刊论文
p型硅片表面氧化雾缺陷的吸除
p型硅片表面氧化雾缺陷的吸除
来源 :电子科学学刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chendan790914
【摘 要】
:
利用快中子辐照在p型硅片中产生辐照缺陷,利用其作为热处理时硅中氧沉淀的成核中心,在硅片表面层形成洁净区和在体内形成吸杂区,能有效地抑制硅片表面氧化雾缺陷的形成。提出了较
【作 者】
:
张维连
徐岳生
【机 构】
:
河北工学院材料研究中心,河北工学院材料研究中心天津300130,天津300130
【出 处】
:
电子科学学刊
【发表日期】
:
1993年5期
【关键词】
:
硅片
雾缺陷
中子辐照
清洗
Si waferHaze defectFast neutron irradiation
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利用快中子辐照在p型硅片中产生辐照缺陷,利用其作为热处理时硅中氧沉淀的成核中心,在硅片表面层形成洁净区和在体内形成吸杂区,能有效地抑制硅片表面氧化雾缺陷的形成。提出了较为实用的退火工艺和简单的解释。
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