【摘 要】
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使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20%提高到80%.器件的微
【机 构】
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中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心,
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使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20%提高到80%.器件的微机械结构面积为35μm×35μm.读出电路的失调电压为3μV.探测器的输出噪声为2μV.探测器的电压响应率为7 894.7 V/W,黑体探测率D*为1.56×109cmHz1/2/W,噪声等效温差为330 mK,响应时间为27 ms.
Using infrared detectors and readout circuits, a successful uncooled infrared detection system was developed.The detector diode was used as a temperature sensor to make it compatible with the integrated circuit technology.With a new device structure, the fill factor was increased from 20% to 80% . The device’s micromechanical structure area is 35μm × 35μm. The offset voltage of the sensing circuit is 3μV. The output noise of the detector is 2μV. The voltage response of the detector is 7 894.7 V / W, the detection rate of blackbody D * is 1.56 × 109cmHz1 / 2 / W, noise equivalent temperature difference of 330 mK, response time of 27 ms.
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