【摘 要】
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根据电容器原理,电容式传感器将待测量转化为电容值,进而根据电容两端电压转化为所要测量的参数值.该测量方法被广泛用于压力、加速度、位移等参数的测量.随着集成电路制造工
【机 构】
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150001,中国电子科技集团公司第四十九研究所 黑龙江 哈尔滨
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根据电容器原理,电容式传感器将待测量转化为电容值,进而根据电容两端电压转化为所要测量的参数值.该测量方法被广泛用于压力、加速度、位移等参数的测量.随着集成电路制造工艺技术的快速发展,互补金属氧化物半导体(CMOS)电路由于功耗低(几乎没有静态功耗)而被广泛应用在集成电路中.它的出现促使电容式传感器被广泛地应用在集成传感器中,能较好地与其他电路共同集成在同一芯片上,从而降低系统的成本,并提高了传感器的检测精度.基于此,本文主要对低功耗全数字电容式传感器接口电路设计进行分析探讨.
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