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Y60A单晶炉慢速提拉控制系统设计
Y60A单晶炉慢速提拉控制系统设计
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JK0803_wantao
【摘 要】
:
在单晶生产过程中,对单晶提拉速度有十分严格的要求,针对实际情况设计并分析了一种实用的、在极低转速下调速的控制系统.用该系统来控制提拉机械,具有结构简单、造价低的特点
【作 者】
:
梁秀梅
【机 构】
:
西安理工大学
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
单晶炉
提拉速度
速度控制系统
Y60A型
慢速提拉
设计
氧化物晶体
single-crystal furnace
lifting speed
speed c
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在单晶生产过程中,对单晶提拉速度有十分严格的要求,针对实际情况设计并分析了一种实用的、在极低转速下调速的控制系统.用该系统来控制提拉机械,具有结构简单、造价低的特点,实测表明系统的性能满足生产要求.
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